抛光垫

复合无纺布抛光垫·参数

产品名称：无纺布抛光垫/碳化硅SIC抛光垫/suba800替代

产品厚度：1.2-3mm（可定制）

开槽规格：10×10--20×20（可定制）

产品直径：φ300-φ1300mm（可定制）

产品特点：

抛光垫满足低、中及高硬度材料抛光需求，针对碳化硅SIC抛光的4道工艺制程搭配不同型号抛光垫（粗磨垫/精磨垫/粗抛垫/精抛垫）具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性价比等优势。

产品工艺及用途：

特殊纤维结构高耐磨的抛光材料，适用于碳化硅SIC/再生晶圆/各类三五族或二六族等晶圆，如蓝宝石、砷化镓、氮化铝等抛光，也适用于各类衬底、窗口片或玻璃片的高平坦效果。